1. 招標條件
本招標項目全自動CMP拋光系統(tǒng) 該項目已具備招標條件，現(xiàn)對全自動CMP拋光系統(tǒng)進行國內(nèi)公開招標。
2. 項目概況與招標范圍
2.1 招標編號：ZKX20250341A066
2.2招標項目名稱：全自動CMP拋光系統(tǒng)
2.3 數(shù)量：1套
2.4 設備用途及系統(tǒng)組成：
設備用途：全自動CMP拋光系統(tǒng)主要應用于量子傳感、硅光、MEMS等含有微納圖形的晶圓加工工藝中實現(xiàn)均勻性和原子級表面平整的拋光。
系統(tǒng)組成：全自動CMP拋光系統(tǒng)主要由EFEM單元、研磨拋光單元、清洗單元機械傳輸單元等組成。
2.5 交貨地點：中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。
2.6 交貨期：合同簽訂4個月內(nèi)到貨。
3. 投標人資格要求：
3.1 投標人須具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。
3.2 本次招標不接受聯(lián)合體投標。
3.3 本次招標接受代理商投標。一個代理商對同一品牌同一型號的設備，僅能委托一個代理商參加投標。提供制造商針對本項目（帶本項目招標編號）的授權書（原件）。
3.4 財務要求：投標人應附2024年經(jīng)會計師事務所或?qū)徲嫏C構審計的財務會計報表，包括審計報告正文、資產(chǎn)負債表、現(xiàn)金流量表、利潤表的復印件。投標人的成立時間少于上述規(guī)定年份的，應提供成立以來的財務報表。投標人為科研院所、高等院校等事業(yè)單位的可提供經(jīng)審計的或單位內(nèi)審的2024年財務報表。
3.5 信譽要求：投標人在經(jīng)營活動中，無嚴重違法失信記錄，具有良好的信譽。提供相關證明材料（如信用中國或國家企業(yè)信用信息公示系統(tǒng)或中國執(zhí)行信息公開網(wǎng)的查詢結果）或信譽承諾書。
3.6 投標人必須向招標代理機構
