全自動(dòng)硅硅鍵合機(jī)項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，招標(biāo)項(xiàng)目資金已落實(shí)。中科信工程咨詢（北京） （招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)）受中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所（招標(biāo)人）的委托，對(duì)該項(xiàng)目進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)招標(biāo)采購(gòu)。
1. 招標(biāo)范圍
1.1 貨物名稱：全自動(dòng)硅硅鍵合機(jī)
1.2 招標(biāo)編號(hào)：0779-25400341A057
1.3項(xiàng)目概況：
全自動(dòng)硅硅鍵合機(jī)用于量子傳感、硅光、MEMS等芯片的晶圓級(jí)密封封裝工藝，在室溫下依次對(duì)晶圓片進(jìn)行等離子體表面活化和水洗甩干，經(jīng)過(guò)親水性處理的晶圓表面會(huì)形成足夠多的羥基，吸附水分子，當(dāng)兩個(gè)晶圓距離足夠接近時(shí)，會(huì)在羥基、水分子間的范德華力作用下相互接觸并預(yù)鍵合到一起，再進(jìn)行退火處理，使界面發(fā)生羥基聚合反應(yīng)形成Si-O-Si鍵，增強(qiáng)鍵合強(qiáng)度；更多指標(biāo)詳見(jiàn)第八章技術(shù)規(guī)格。
關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)：
適用于6英寸晶圓，并可擴(kuò)展至8英寸；
多模塊多腔室組合，包括等離子活化、水清洗、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)、鍵合等處理模式；
Mark鍵合對(duì)準(zhǔn)精度：≤±2μm；
更多技術(shù)指標(biāo)詳見(jiàn)第八章。
1.4 數(shù)量：1臺(tái)。
1.5 交貨期：合同簽訂生效后8個(gè)月內(nèi)交貨。
1.6 項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)：中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所指定地點(diǎn)。
2. 對(duì)投標(biāo)人的資格要求
2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織，具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力。
2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書(shū)。授權(quán)書(shū)包括制造商直接開(kāi)具的；或制造商的獨(dú)資公司開(kāi)具的（同時(shí)須提供制造商與獨(dú)資子公司的關(guān)系說(shuō)明，并由雙方簽字或者蓋章）。
2.3本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
2.4投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)
3. 招標(biāo)文件獲取
3.1 潛在投標(biāo)人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺(tái)，經(jīng)招標(biāo)人(代理機(jī)構(gòu))確認(rèn)后，才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。
3.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)注冊(cè)，辦理CA數(shù)字證書(shū)與電子簽章，否則無(wú)法投標(biāo)。（詳見(jiàn)中航工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)相關(guān)說(shuō)明）。
4.
未在中國(guó)電力招標(biāo)采購(gòu)網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先點(diǎn)擊注冊(cè)。登錄成功后的在 招標(biāo)會(huì)員 區(qū)根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說(shuō)明獲取招標(biāo)文件！
咨詢電話：010-51957458
手 機(jī)：18811547188
聯(lián)系人：李楊
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來(lái)源：中國(guó)電力招標(biāo)采購(gòu)網(wǎng)
備注：欲購(gòu)買招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人,注冊(cè)網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)及商務(wù)信息服務(wù)費(fèi)后，查看項(xiàng)目業(yè)主，招標(biāo)公告并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，
招標(biāo)清單，報(bào)名申請(qǐng)表等。為保證您能夠順利投標(biāo)，具體要求及購(gòu)買標(biāo)書(shū)操作流程按會(huì)員區(qū)招標(biāo)信息詳細(xì)內(nèi)容為準(zhǔn)。
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