投標(biāo)邀請(qǐng)
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。資金情況已落實(shí)。中科信工程咨詢(xún)（北京） （招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)）受中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所（招標(biāo)人）的委托，對(duì)該項(xiàng)目進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)招標(biāo)采購(gòu)。 1. 招標(biāo)范圍 1.1 貨物名稱(chēng)：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備 1.2 招標(biāo)編號(hào)：0779-26400341A009 1.3 項(xiàng)目概況 設(shè)備通過(guò)感應(yīng)耦合等離子體方式（ICP）產(chǎn)生高密度等離子體，在硅及化合物半導(dǎo)體等襯底上沉積高質(zhì)量的介質(zhì)薄膜（例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等）。 設(shè)備主要指標(biāo)： （1）樣品尺寸：最大6英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規(guī)則碎片，不同尺寸樣片之間的切換、無(wú)需反應(yīng)腔室的開(kāi)腔破真空； （2）反應(yīng)腔室本底真空≤ 1E-6 mbar，真空漏率≤ 2E-4 mbar·L/s； （3）溫度控制：采用背氦傳熱的動(dòng)態(tài)溫度控制系統(tǒng)，溫度控制范圍不小于 +30℃~+300℃，溫度控制精度≤±1℃。 更多技術(shù)指標(biāo)詳見(jiàn)第八章。 1.4 數(shù)量：1套。 1.5 交貨期：合同簽訂生效后8個(gè)月內(nèi)到達(dá)用戶現(xiàn)場(chǎng)。 1.6 項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)：中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所指定地點(diǎn)。 2. 對(duì)投標(biāo)人的資格要求 2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織，具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力。 2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書(shū)。授權(quán)書(shū)包括制造商直接開(kāi)具的；或制造商的獨(dú)資公司開(kāi)具的（同時(shí)須提供制造商與獨(dú)資子公司的關(guān)系說(shuō)明，并由雙方簽字或者蓋章）。 2.3投標(biāo)人所投標(biāo)設(shè)備2023年1月1日至今同品牌同型號(hào)的銷(xiāo)售量≥3套，提供設(shè)備銷(xiāo)售業(yè)績(jī)證明（提供有效合同首頁(yè)，技術(shù)協(xié)議及驗(yàn)收?qǐng)?bào)告等證明材料，證明材料需有雙方蓋章） 2.4本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。 2.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu) 3. 招標(biāo)文件獲取 3.1 如有疑問(wèn)，請(qǐng)致電中航工業(yè) 服務(wù)熱線400-890-0880。 3.2 招標(biāo)文件售價(jià)人民幣800元或112美元，售后款項(xiàng)不予退還。潛在投標(biāo)人應(yīng)通過(guò)本鏈接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標(biāo)文件費(fèi)用，支付后請(qǐng)自行提交電子發(fā)票申請(qǐng)(需再次進(jìn)入鏈接點(diǎn)擊消費(fèi)記錄后填寫(xiě)開(kāi)票信息)，電子發(fā)票將自動(dòng)發(fā) 潛在投標(biāo)人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺(tái)，經(jīng)招標(biāo)人(代理機(jī)構(gòu))確認(rèn)后，才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。 3.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè) 注冊(cè)，辦理CA數(shù)字證書(shū)與電子簽章，否則無(wú)法投標(biāo)。（詳見(jiàn)中航工業(yè) 相關(guān)說(shuō)明）。 4.未在中國(guó)電力招標(biāo)采購(gòu)網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先點(diǎn)擊注冊(cè)。登錄成功后的在招標(biāo)會(huì)員區(qū)根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說(shuō)明獲取招標(biāo)文件！
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